| 題名 | 大気圧グロー放電の気体温度と電子密度の測定 |
| 著者 | *山崎 勉 (呉工業高等専門学校) |
| Page | p. 343 |
| Keyword | グロー放電, 大気圧, 気体温度, 電子密度, マイクロホロー陰極 |
| Abstract | 大気圧グロー放電は生成されるプラズマの非平衡性から気体改質や表面処理などへの開発が進められている。ホロー陰極放電はそのような放電を得る一つ方法で、ヘリウムを用いると高気圧グロー放電が安定して得られる。生成されたプラズマの計測もいくつか報告されているが、放電機構の明確までには至っていない。そこで、直径0.5mmの円筒ホロー陰極を用い、ヘリウムホロー陰極放電で生成されるプラズマの気体温度と電子密度をスペクトル線広がりの解析から求めた。また、気体温度や電子密度の気圧依存性を数kPaから大気圧に至る範囲で測定し、ホロー陰極放電生成プラズマと気圧の関係について検討したのでここに報告する。 |
| 題名 | 部分放電信号と電気トリー発生に対する印加電圧周波数の影響 |
| 著者 | *橋本 侑亮, 光本 真一 (宇部工業高等専門学校) |
| Page | p. 344 |
| Keyword | 部分放電 |
| 題名 | 2陽極-1陰極型プラズマジェットを用いたイットリア溶射膜の作製 |
| 著者 | *崎山 智司, 福政 修 (山口大学 理工学研究科) |
| Page | p. 345 |
| Keyword | 熱プラズマ, プラズマジェット, 溶射, イットリア, 半導体 |
| 題名 | 溶射粒子の振る舞いにおけるプラズマ種による影響について |
| 著者 | *穐本 和樹, 藤本 聡, 大原 渡, 福政 修 (山口大学大学院 理工学研究科) |
| Page | p. 346 |
| Keyword | 熱プラズマ, プラズマプロセス, 粒子測定, 温度測定 |
| Abstract | 熱プラズマプロセスは、高温で高い反応率を有することから高融点材料の溶射や微粒子化など幅広い分野に応用されている。我々はHAP-Ti傾斜構造膜の製作を試みており、作成される膜質はプラズマジェットにより加熱、加速された注入粒子が基板に入射する直前の溶融状態や速度に依存していると考えている。このため、粒子の温度や速度パラメータを診断することが重要となり、その情報を基にプロセス機構を解明し、最適な制御を行うことが必要だと考えられる。本稿では、材料プロセスにおいて、プラズマ源として広く用いられている直流熱プラズマとRF熱プラズマを対象注入粒子のパラメータ測定を実施し、プラズマ流と注入粒子との相互関係を検討する。 |
| 題名 | 高次制御熱プラズマによるカーボンナノクラスタの合成物質の特性 |
| 著者 | *吉原 雄一, 穐本 和樹, 福政 修 (山口大学大学院理工学研究科) |
| Page | p. 347 |
| Keyword | カーボン, プラズマ |
| Abstract | プラズマジェットを用いた熱プラズマプロセス法は合成物を生成させる上で有効な手段の内の一つである。我々は強制伸長型プラズマジェット発生器を用いた高次制御熱プラズマプロセス装置を用いる。カーボンナノクラスタ（CNC）は現在注目されている分野のうちの一つであるが低コストでの大量合成が困難であり、いかにそのことを解決できるかが今現在の課題となっている。そこで我々は高次制御熱プラズマプロセス装置を用いてCNCの合成を試みる。今回は基板上に付着している触媒粉末の効果、さらにそのときのプラズマジェット中のCH4のラジカル状態を調べ、基板表面上とジェット中との両方の観点からCNCの合成プロセスを考える |
| 題名 | 高次制御熱プラズマによる高品質Ti/HAP傾斜構造膜の作製 |
| 著者 | *戸田 剛史, 神 昌宏, 藤本 聡, 福政 修 (山口大学大学院理工学研究科) |
| Page | p. 348 |
| Keyword | HAP, プラズマ溶射 |