| 題名 | 熱プラズマジェットを用いたカーボン系ナノ物質の生成 |
| 著者 | *吉原 雄一, 大石 剛, 福政 修 (山口大学大学院 理工学研究科) |
| Page | p. 7 |
| Keyword | カーボン, ジェット |
| Abstract | カーボン系ナノ物質は現在注目されている分野のうちの一つであり、工業材料として実用化していく上で多くの応用が可能である。しかし、現在の生成方法の主流であるアーク放電、熱CVD法、レーザー蒸発法では低コストでの大量合成が困難であり、いかにそのことを解決できるかが今現在の課題となっている。 これまでの実験ではNi粉末を用いて合成メカニズムを探ってきたが、他の触媒を用いたらどうなるかを見るために今回はFe粉末を用いた。また粉末と材料ガスを同時に供給するのと別々に供給するのとではどちらがカーボン系ナノ物質の生成に適しているか分かっていないので、今回は別々に供給させた場合のナノ物質生成の合成メカニズムを検討する。 |
| 題名 | 高次制御熱プラズマを用いたカーボンナノ構造体の連続合成 |
| 著者 | *大石 剛, 吉原 雄一, 福政 修 (山口大学大学院 理工学研究科) |
| Page | p. 8 |
| Keyword | プラズマジェット, カーボンナノチューブ, Ni触媒 |
| Abstract | 一般的なカーボンナノチューブの簡便な合成法としてアーク放電法があるが、連続合成や大規模化による大量生産が困難である。この他の合成法においても、高効率で大量かつ簡便に高純度のカーボンナノチューブを生成することが可能なプロセスの実現は重要な課題である。そこで、我々は高次制御熱プラズマプロセス装置を用いたCNTの合成を提案した。これまでの研究より、材料ガス(CH4)のみで、繊維状のカーボンナノ構造体を生成でき、材料ガスと共に補助ガス(H2)を供給することでアモルファスカーボンなどの生成が抑制できることを確認した。また、Ni粉末の添加によってナノ構造体の高速合成が更に促進されることも確認できた。今回は合成メカニズムを更に探ると共に、Ni粉末の効果を更に検討する。 |
| 題名 | 直流熱プラズマによる水酸化アパタイトコーティング(��) |
| 著者 | *神 昌宏, 戸田 剛史, 福政 修 (山口大学大学院理工学研究科) |
| Page | p. 9 |
| Keyword | 水酸化アパタイト, 熱プラズマプロセス装置, 人工骨 |
| Abstract | 近年の高齢化社会において人工関節、人工歯根等医療器具に対する関心が高まっている。人工関節や人工歯根は大きな荷重のかかる生体内で利用され、長期間機能するものが求められる。そこで長期間使用できる人工骨の材料として注目されているのが、水酸化アパタイト(HAP)で、これを体内に埋入すると自ら積極的に新生骨の発生を誘導することが明らかになっており人工骨の材料として用いられている。特に多孔質アパタイトは、緻密体よりも骨伝導性が高く、気孔内に新生骨が侵入し、実際の骨と同化するため医療分野での活躍が期待されている。 HAPのコーティング方法には様々な方法があるが、高温が容易に得られ、プロセス時間が短いという長所からプラズマ溶射を用いて実験を行っている。 |
| 題名 | 直流熱プラズマによる水酸化アパタイトコーティング(��)〜生成膜の膜質とプラズマジェット温度との関連性〜 |
| 著者 | *戸田 剛史, 神 昌宏, 藤本 聡, 福政 修 (山口大学大学院理工学研究科) |
| Page | p. 10 |
| Keyword | アパタイト, 熱プラズマ |
| Abstract | HAPは骨や歯をはじめとした生体組織の無機成分であり生体活性物質であるのため、人工歯根や人工骨などの生体硬組織の代替材料として用いられる。プラズマ材料プロセスへの応用を目指して我々が開発した直流プラズマジェット発生器は、広い動作領域にわたって安定に動作、また制御性が高く、熱効率の高い熱プラズマプロセス装置である。これまで我々はこの熱プラズマプロセス装置を用いてTi−HAP傾斜構造膜の研究を行い、成果を収めている。そこで、本稿ではこの装置により作製された生成膜の膜質とプラズマジェットの分光学的温度との関連性について検討している。 |
| 題名 | 高速ゲートICCDによるプラズマ光計測システムの開発 |
| 著者 | *藤本 聡, 福政 修 (山口大学大学院 理工学研究科) |
| Page | p. 11 |
| Keyword | 熱プラズマ, プラズマプロセス, CCDカメラ, 温度計測 |
| Abstract | プラズマプロセスは、半導体等の表面処理、薄膜作製、有害物質の無害化など、幅広い分野に利用されており、さらなる高度なプロセスの技術が求められています。プロセスの高性能化を実現するには、反応過程のプラズマパラメータをin-situ計測し、その情報を基にプロセスの機構を解明し、最適な制御をすることが必要だと考えられる。本稿では、W-VIEW光学系と高速ゲートICCDカメラからなる光計測システムにより、プラズマ全域のリアルタイム測定およびプロセス中の各パラメータの時間変化によるふるまいを計測し、このシステムの有用性について考察する。 |
| 題名 | 強制伸張型プラズマジェットを用いたイットリア溶射膜の作製 |
| 著者 | *崎山 智司, 福政 修 (山口大学大学院 理工学研究科) |
| Page | p. 12 |
| Keyword | プラズマジェット, プラズマ溶射 |
| Abstract | 本研究の目的は、独自に開発した強制伸張型プラズマジェット発生器を用いて、耐プラズマ性に優れたイットリア溶射膜を作製することである。ここでは、高出力化を図った強制伸張型プラズマジェット発生器の基礎特性とそれを用いて得られたイットリア溶射膜の特性について述べる。 |
| 題名 | レーザ光脱離法による負イオン計測の粒子シミュレーション |
| 著者 | *石崎 隆広 (山口大学大学院電子デバイス工学専攻), 内藤 裕志, 田内 康, 福政 修 (山口大学) |
| Page | p. 13 |
| Keyword | プラズマ, 光脱離現象, 負イオン計測, プローブ |