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平成18年度 電気・情報関連学会中国支部第57回連合大会

部門: 2. プラズマ・放電・高電圧 II
日時: 2006年10月21日(土) 11:10 - 12:02
部屋: 21号館 1階 22112室 (→地図)
座長: 内藤 裕志 (山口大学工学部電気電子工学科)

2-6 (時間: 11:10 - 11:23)
題名定在波重畳法によるVHFプラズマの生成及び制御
著者*大塚 真由美, 田内 康, 福政 修 (山口大学大学院理工学研究科), 村田 正義 (APT)
Pagep. 386
KeywordVHFプラズマ, 定在波重畳法
AbstractVHF帯域の放電プラズマは定在波の発生などの原因により均一なプラズマを生成することは困難だと考えられている。大面積かつ均一なVHFプラズマを生成する方法の1つとして、電極間に複数の定在波を生成し重畳する定在波重畳法という考え方が提案されている。本研究では、定在波重畳法を用いて均一なプラズマを生成し、定在波重畳法の有用性についての検討を行っている。

2-7 (時間: 11:23 - 11:36)
題名DCプラズマのグリッドバイアス制御による負イオン生成の高効率化
著者*上平 康弘, 井藤 大輔, 福政 修 (山口大学大学院 理工学研究科)
Pagep. 387
KeywordDCプラズマ, グリッドバイアス法
Abstract負イオン源の長寿命化のため、高周波放電プラズマ源の開発に向けて、磁気フィルター法に代わる制御法として考えられているグリットバイアス法によりプラズマパラメータを制御し、負イオン生成を高効率化する事を目標としている。 グリッドバイアス法によるプラズマパラメータ制御の効果を検討するため、直流放電によって生成した安定なプラズマを対象にグリッドバイアス法の有効性について検討を行った。

2-8 (時間: 11:36 - 11:49)
題名NBI用負イオン源におけるグリッドバイアス法と磁気フィルター法の比較
著者*井藤 大輔, 上平 康弘, 福政 修 (山口大学大学院理工学研究科)
Pagep. 388
Keyword負イオン源, グリッドバイアス法, 磁気フィルター
Abstract核融合発電において中性粒子ビーム入射(NBI)加熱装置は必要不可欠である。我々はNBI加熱装置の体積生成型負イオン源における、負イオン生成の高効率化を目指して研究を行っている。電子エネルギーの制御法として磁気フィルター法とグリッドバイアス法が提案されている。そこで我々は直流放電プラズマを対象にグリッドバイアス法を用いた基礎実験を行ってきた。将来の高周波負イオン源の開発を目指す上ではグリッドバイアス法と磁気フィルター法とでプラズマパラメータの制御性を比較することは重要であると考える。 本研究では磁気フィルター法を用いた基礎実験を行ったのでグリッドバイアス法との比較検討を行う。

2-9 (時間: 11:49 - 12:02)
題名グリッドバイアス法を用いたRF放電プラズマのプラズマパラメータ制御(II)
著者*中尾 勇一, 岡田 純一, 田内 康, 福政 修 (山口大学大学院理工学研究科)
Pagep. 389
Keyword負イオン源, グリッドバイアス法
AbstractNBI用負イオン源では長期連続運転可能な高周波放電プラズマを用いた負イオン源の開発が期待されており、体積生成型プラズマ源を中心とした研究が進められている。水素負イオンの体積生成法は電子衝突励起による振動励起分子生成過程と解離付着による負イオン形成過程との2段階過程であると考えられている。この2段階過程において最適電子エネルギーがそれぞれ大きく異なるため、電子エネルギー分布を空間的に制御することは重要である。本研究はグリッドバイアス法によるプラズマパラメータ制御を目標としている。本報告ではArガスで生成したプラズマをグリッドバイアス法でプラズマパラメータ制御できるか検討した。