2005年10月22日(土) |
題名 | モノクロCCDカメラを用いたプラズマプロセス診断装置の開発(II) |
著者 | *崎山 智司, 山元 春香, 福政 修 (山口大) |
Page | p. 74 |
keywords | 熱プラズマ, CCDカメラ, 粒子温度, 粒子速度, プラズマプロセス |
題名 | 粒子シミュレーションによる2次元シース不安定性の研究 |
著者 | *佐々木 謙一, 内藤 裕志, 田内 康, 福政 修 (山口大) |
Page | p. 75 |
keywords | プラズマ, 物理現象, 粒子シミュレーション, 2次元シース |
題名 | 正、負イオンビーム引き出し特性における粒子シミュレーション |
著者 | *山根 初仁, 内藤 裕志, 福政 修 (山口大) |
Page | p. 76 |
keywords | イオン源, 粒子シミュレーション, ビーム引き出し |
題名 | セシウム添加型負イオン源における引出し確率を用いた引出し負イオン密度の評価 |
著者 | *西田 亮, 福政 修 (山口大) |
Page | p. 77 |
keywords | 負イオン源, 引出し確率, 引出し負イオン密度 |
題名 | 負イオン源単孔からの負イオン引出し確率 |
著者 | *橋本 圭令, 西田 亮, 福政 修 (山口大) |
Page | p. 78 |
keywords | 負イオン源, シミュレーション |
題名 | 重水素負イオン源における真空紫外放射と負イオン体積生成の相関関係 |
著者 | *森 成史, 福政 修 (山口大) |
Page | p. 79 |
keywords | 重水素負イオン源, 負イオン体積生成, 磁気フィルター, 真空紫外放射, プラズマパラメータ制御 |