| 題名 | He/CF4及びAr/ CF4沿面放電プラズマによる太陽電池用シリコン基板のエッチング |
| 著者 | *濱田 俊之 (宇部工業高等専門学校電気工学科) |
| キーワード | 沿面放電プラズマ, エッチング, 単結晶シリコン, 窒化シリコン |
| アブストラクト | 本研究では、マスクレスでパターン上に材料表面処理が可能な大気圧非平衡プラズマ源として沿面放電プラズマを用い、太陽電池用電極溝の作製を行った。なお、本報告では、作製される電極溝のキャリアガスの影響を明らかにするため、キャリアガスとしてHe及びArを用いた場合に作製される電極溝から、各キャリアガスを用いた場合のエッチング特性を確認した。 その結果、質量の軽く拡散しやすいHeを用いた場合、沿面放電プラズマはグロー状の拡散したプラズマとなるため、Arに比べて幅の広い電極溝が作製されることが明らかとなった。 |
| 題名 | Alプラズマグリッドによって生成される水素イオン性プラズマ |
| 著者 | *加美川 俊満, 竹田 敬, 林 智成, 姉川 伸季, 大原 渡 (山口大学大学院理工学研究科) |
| キーワード | 負イオン |
| 題名 | Niグリッドを用いた水素イオン性プラズマ生成 |
| 著者 | *林 智成, 横山 浩之, 前谷 祐亮, 加美川 俊満, 大原 渡 (山口大学大学院理工学研究科) |
| キーワード | 負イオン |
| 題名 | 水素イオン性プラズマの軸方向分布 |
| 著者 | *姉川 伸季, 河田 晃佑 (山口大学大学院理工学研究科), 江川 正樹, 巽 優祐 (山口大学工学部電気電子工学科), 加美川 俊満, 竹田 敬, 大原 渡 (山口大学大学院理工学研究科) |
| キーワード | イオン性プラズマ, 負イオン崩壊 |